Cryo-Pumps là dòng bơm chân
không siêu cao, sử dụng các khí hóa lỏng ở nhiệt độ thấp, ví dụ như N2lỏng
ở T0 = 770K để bẫy khí nhằm tạo ra môi trường chân không
siêu cao.
Các dòng bơm chân không
lạnh (Coolvac) của Oerlikon Leybold có thể tạo ra Hydro Carbon trong môi trường
chân không siêu cao từ: 10-3-10-11mbar (tương đương 0.75 x 10-3 - 0.75 x 10-11 Torr).
Cấu hình chi tiết
Bơm Coolvac 800 CL:
-
Tốc
độc...
